中商情報網(wǎng)訊:近年來,以碳化硅為代表的第三代半導(dǎo)體材料在禁帶寬度、擊穿電場強度、飽和電子漂移速率、熱導(dǎo)率以及抗輻射等關(guān)鍵參數(shù)方面具有顯著優(yōu)勢,進(jìn)一步滿足了現(xiàn)代工業(yè)對高功率、高電壓、高頻率的需求。以碳化硅為襯底制成的功率器件相比硅基功率器件具有優(yōu)越的電氣性能,具體如下:
資料來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
正是由于碳化硅器件具備的上述優(yōu)越性能,可以滿足電力電子技術(shù)對高溫、高功率、高壓、高頻及抗輻射等惡劣工作條件的新要求,從而成為半導(dǎo)體材料領(lǐng)域最具前景的材料之一。
第三代半導(dǎo)體材料中,受技術(shù)與工藝水平限制,氮化鎵材料作為襯底實現(xiàn)規(guī)?;瘧?yīng)用仍面臨挑戰(zhàn),其應(yīng)用主要是以藍(lán)寶石、硅晶片或碳化硅晶片為襯底,通過外延生長氮化鎵以制造氮化鎵器件。相比而言,近年來碳化硅晶片作為襯底材料的應(yīng)用逐步成熟并進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化階段,以碳化硅晶片為襯底的下游產(chǎn)業(yè)鏈圖示如下:
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