2.光刻機(jī)
光刻機(jī)作為芯片產(chǎn)業(yè)的核心裝備，有人稱它為“人類最精密復(fù)雜的機(jī)器”，同時(shí)也被稱為半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠。光刻的主要作用是將掩模版上的芯片電路圖轉(zhuǎn)移到硅片上，是芯片制造的核心環(huán)節(jié)。光刻工藝定義了半導(dǎo)體器件的尺寸，光刻的工藝水平直接決定芯片的制程和性能水平。
資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
（1）光刻機(jī)分類
光刻機(jī)按照有無掩?？煞譃橛醒谀９饪虣C(jī)和無掩模光刻機(jī)。這兩類光刻機(jī)分別有不同的種類：無掩模光刻機(jī)分為電子束直寫光刻機(jī)、激光直寫光刻機(jī)、離子束直寫光刻機(jī)，有掩模光刻機(jī)分為接近/接觸式光刻機(jī)以及投影光刻機(jī)。
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