（4）光刻機(jī)重點(diǎn)企業(yè)分析
全球光刻機(jī)市場(chǎng)主要由荷蘭的ASML、日本尼康（Nikon）和佳能（Canon）三家占據(jù)。如今雖然ASML正逐漸解除對(duì)華產(chǎn)品的禁售，但EUV這類的頂尖光刻機(jī)由于產(chǎn)能有限。中國光刻機(jī)主要生產(chǎn)商有上海微電子裝備公司、北京華卓精科科技股份有限公司等。
資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
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