3.刻蝕機(jī)
刻蝕機(jī)是芯片制造過(guò)程中的核心設(shè)備之一，刻蝕是利用化學(xué)或者物理的方法將晶圓表面附著的不必要的材質(zhì)進(jìn)行去除的過(guò)程。在刻蝕機(jī)中，閃電、極光也都是等離子體會(huì)轟擊在晶圓表面，將原子直接打出，或發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，與晶圓上的材料形成新的化合物揮發(fā)，實(shí)現(xiàn)刻蝕。
資料來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院
（1）刻蝕工藝
刻蝕工藝指的是用化學(xué)和物理方法，在經(jīng)顯影后的電路圖永久和精確地留在晶圓上，選擇性地去除硅片上不需要的材料?？涛g工藝的方法有兩大類，濕法蝕刻和干法蝕刻。具體如下圖所示：
資料來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
由于光刻機(jī)在20nm以下光刻步驟受到光波長(zhǎng)度的限制，因此無(wú)法直接進(jìn)行光刻與刻蝕步驟，而是通過(guò)多次光刻、刻蝕生產(chǎn)出符合人們要求的更微小的結(jié)構(gòu)。目前普遍采用多重模板工藝原理，即通過(guò)多次沉積、刻蝕等工藝，實(shí)現(xiàn)10nm線寬的制程。根據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)，14nm制程所需使用的刻蝕步驟達(dá)到64次，較28nm提升60%；7nm制程所需刻蝕步驟更是高達(dá)140次，較14nm提升118%，工藝升級(jí)持續(xù)推動(dòng)刻蝕機(jī)用量提升。
數(shù)據(jù)來(lái)源：SEMI、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
如發(fā)現(xiàn)本站文章存在版權(quán)問(wèn)題，煩請(qǐng)聯(lián)系editor@askci.com我們將及時(shí)溝通與處理。
2021年12月油料市場(chǎng)供需及價(jià)格走勢(shì)預(yù)測(cè)分析：國(guó)內(nèi)外油籽價(jià)格均上漲，油脂價(jià)格漲跌互現(xiàn)
2021年12月大豆市場(chǎng)供需及價(jià)格走勢(shì)預(yù)測(cè)分析：國(guó)內(nèi)大豆價(jià)格高位上漲，國(guó)際大豆價(jià)格小幅回升
2021年12月玉米市場(chǎng)供需及價(jià)格走勢(shì)預(yù)測(cè)分析：國(guó)內(nèi)價(jià)格普遍反彈，國(guó)際價(jià)格有所上漲
2021年1-11月中國(guó)冰箱出口數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析
2021年1-11月中國(guó)空調(diào)出口數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析
2021年11月全國(guó)飲料產(chǎn)量數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析
2021年1-11月中國(guó)電扇出口數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析
2022年中國(guó)多晶硅市場(chǎng)前景及投資研究預(yù)測(cè)報(bào)告（簡(jiǎn)版）
2021年中國(guó)汽車流通行業(yè)二手車經(jīng)銷商百?gòu)?qiáng)企業(yè)排行榜（附榜單）
2021年1-11月中國(guó)平板電腦出口數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析
