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收藏！2021年度中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈全景圖剖析（附產(chǎn)業(yè)鏈全景圖）
來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院 發(fā)布日期：2021-12-22 16:58
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4.薄膜沉積設(shè)備

半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備，是指將原子吸附并在表面擴散及在適當(dāng)?shù)奈恢孟戮劢Y(jié)，以漸漸形成薄膜的設(shè)備，是晶圓制造的核心步驟之一。

（1）薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模

數(shù)據(jù)顯示，2017-2019年全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模分別為125億美元、145億美元和155億美元，2020年擴大至約172億美元，年復(fù)合增長率為11.2%。中商產(chǎn)業(yè)研究院預(yù)計到2022年全球薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模將達202億美元。

數(shù)據(jù)來源：MaximizeMarketResearch、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

（2）薄膜沉積設(shè)備市場占比

薄膜沉積工藝的不斷發(fā)展，形成了較為固定的工藝流程，同時也根據(jù)不同的應(yīng)用演化出了PECVD、濺射PVD、ALD、LPCVD等不同的設(shè)備用于晶圓制造的不同工藝。其中，PECVD是薄膜設(shè)備中占比最高的設(shè)備類型，占整體薄膜沉積設(shè)備市場的33%；ALD設(shè)備目前占據(jù)薄膜沉積設(shè)備市場的11%；SACVD是新興的設(shè)備類型，屬于其他薄膜沉積設(shè)備類目下的產(chǎn)品，占比較小。在整個薄膜沉積設(shè)備市場，屬于PVD的濺射PVD和電鍍ECD合計占有整體市場的23%。

數(shù)據(jù)來源：Gartner、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

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