4.靶材
靶材主要由靶坯、背板或背管等部分構(gòu)成，其中，靶坯是高速離子束流轟擊的目標(biāo)材料，屬于濺射靶材的核心部分，在濺射鍍膜過(guò)程中，靶坯被離子撞擊后，其表面原子被濺射飛散出來(lái)并沉積于基板上制成薄膜材料，濺射鍍膜是靶材整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈中技術(shù)要求最高的環(huán)節(jié)。
資料來(lái)源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
（1）靶材市場(chǎng)規(guī)模
按使用的原材料材質(zhì)不同，濺射靶材可分為金屬/非金屬單質(zhì)靶材、合金靶材、化合物靶材等。2016-2020年我國(guó)濺射靶材市場(chǎng)規(guī)模將從177億元升至337億元，年均復(fù)合增長(zhǎng)率為17.46%，中商產(chǎn)業(yè)研究院預(yù)計(jì)2022年中國(guó)濺射靶材市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)396億元。
數(shù)據(jù)來(lái)源：江豐電子、中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
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