中商情報(bào)網(wǎng)訊：半導(dǎo)體設(shè)備是整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要支撐產(chǎn)業(yè)，得益于半導(dǎo)體全行業(yè)的蓬勃發(fā)展和國家政策的支持，我國半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模增長迅速。目前，行業(yè)下游晶圓廠在關(guān)鍵工藝節(jié)點(diǎn)上成功取得量產(chǎn)，多家國內(nèi)領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造企業(yè)進(jìn)入產(chǎn)能擴(kuò)張期，都為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的技術(shù)能力提升和產(chǎn)業(yè)規(guī)模的擴(kuò)大提供了源動(dòng)力。
一、產(chǎn)業(yè)鏈
半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈中，上游為零部件和系統(tǒng)軟件；中游為半導(dǎo)體設(shè)備，光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、涂膠顯影設(shè)備、氧化爐、CMP/CVD/PVD設(shè)備、質(zhì)檢及電學(xué)檢測設(shè)備等；下游為半導(dǎo)體產(chǎn)品，主要包括分立器件、光電子器件、傳感器和集成電路。
資料來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
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