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2022年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場前景及投資研究報(bào)告（簡版）

來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布日期：2022-08-11 14:40

半導(dǎo)體設(shè)備

中商情報(bào)網(wǎng)訊：半導(dǎo)體設(shè)備是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造工藝的媒介工具，在各個(gè)環(huán)節(jié)均發(fā)揮重要作用。近年來，半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程進(jìn)一步提速，且半導(dǎo)體設(shè)備環(huán)節(jié)業(yè)績比整體行業(yè)更具彈性。半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化迎黃金浪潮，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備正迎來更充沛的驗(yàn)證試用、技術(shù)合作、進(jìn)口替代機(jī)遇。

一、半導(dǎo)體設(shè)備定義及產(chǎn)業(yè)鏈

半導(dǎo)體專用設(shè)備泛指用于生產(chǎn)各類半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設(shè)備，屬于半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的支撐環(huán)節(jié)。在整個(gè)芯片制造和封測過程中，會(huì)經(jīng)過上千道加工工序，細(xì)分又可以劃分出百種不同的機(jī)臺(tái)，占比較大市場份額的主要有：光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)、測試機(jī)、分選機(jī)、探針臺(tái)等。

半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈中，上游為零部件和系統(tǒng)軟件；中游為半導(dǎo)體設(shè)備，光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入機(jī)、涂膠顯影設(shè)備、氧化爐、CMP/CVD/PVD設(shè)備、質(zhì)檢及電學(xué)檢測設(shè)備等；下游為半導(dǎo)體產(chǎn)品，主要包括分立器件、光電子器件、傳感器和集成電路。