3.市場競爭格局
目前，光刻機市場競爭格局明確，主要由阿斯麥、日本尼康和佳能三家把持，其中阿斯麥更是全球絕對龍頭，市占率83.3%，幾乎壟斷了高端光刻機（EUV）市場。日本尼康和佳能產品主要為中低端機型。國產光刻機領域中，上海微電子一枝獨秀。
國產光刻機市場前景廣闊，同時，為了避免在芯片產能爬坡時被外界的設備供應給“卡脖子”，國產光刻機正在逐步突破。近年來，我國科技取得了巨大突破，五年內有望解決高端芯片短缺問題。
數(shù)據來源：SEMI、中商產業(yè)研究院整理
4.三大龍頭企業(yè)分析
2021年，前三大光刻機企業(yè)阿斯麥、尼康、佳能的集成電路用光刻機出貨達478臺，較2020年的413臺增加65臺，同比增長15%。2021年阿斯麥光刻機營收約854億元，阿斯麥共出貨309臺光刻機，；尼康光刻機業(yè)務營收約112億元，集成電路用光刻機出貨29臺，較2020年減少4臺；佳能光刻機營收約為110億元，佳能的半導體用光刻機是i-line、KrF兩類機臺出貨，光刻機出貨量達140臺，較2020年出貨增加18臺。
數(shù)據來源：中商產業(yè)研究院整理
下表為阿斯麥光刻機主要供應商匯總一覽表：
資料來源：中商產業(yè)研究院整理
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