中商情報(bào)網(wǎng)訊:電子特氣是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵原材料,被稱為“芯片血液”。目前國(guó)內(nèi)電子特氣第一梯隊(duì)的廠商已經(jīng)具備規(guī)模生產(chǎn)能力,在細(xì)分領(lǐng)域產(chǎn)品具有一定優(yōu)勢(shì),但和國(guó)外龍頭企業(yè)相比還有較大差距,國(guó)產(chǎn)替代空間巨大。
一、電子特氣定義
電子特氣指的是工業(yè)氣體中附加值比較高的特殊用途氣體。與傳統(tǒng)工業(yè)氣體在純度和用途上有所區(qū)分。特種氣體的生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合配制、充裝、分析檢測(cè)、氣瓶處理等多項(xiàng)工藝技術(shù),流程較為復(fù)雜。
電子特氣種類眾多,廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環(huán)節(jié),被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”,決定了器件的最終良率和可靠性。電子特氣主要產(chǎn)品類別如下:
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