PART1電子特氣行業(yè)概況
電子特氣指的是工業(yè)氣體中附加值比較高的特殊用途氣體。與傳統(tǒng)工業(yè)氣體在純度和用途上有所區(qū)分。特種氣體的生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術(shù),流程較為復雜。
電子特氣種類眾多,廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環(huán)節(jié),被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”,決定了器件的最終良率和可靠性。
PART2電子特氣行業(yè)發(fā)展環(huán)境
電子特氣在生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合配置、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術(shù),尤其是半導體客戶對氣體純度、混合氣體配比精度以及氣瓶處理技術(shù)等具有高要求。通過不斷的經(jīng)驗積累和技術(shù)進步,業(yè)內(nèi)領(lǐng)先企業(yè)已在部分產(chǎn)品上實現(xiàn)突破,達到國際標準。