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2023年中國(guó)光刻膠行業(yè)市場(chǎng)前景及投資研究報(bào)告(簡(jiǎn)版)
來(lái)源:中商產(chǎn)業(yè)研究院 發(fā)布日期:2023-09-05 15:58
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中商情報(bào)網(wǎng)訊:光刻膠又稱光致抗蝕劑,是指通過(guò)紫外光、電子束、離子束、X射線等的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料,是半導(dǎo)體制造中使用的核心電子材料之一。伴隨著晶圓制造規(guī)模持續(xù)提升,中國(guó)有望承接半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移。

一、光刻膠定義

光刻膠,也被稱為“光致抗蝕劑”,是一種用于光刻的載體介質(zhì),它可以利用光化學(xué)反應(yīng)將光信息在光刻系統(tǒng)中經(jīng)過(guò)衍射和過(guò)濾后轉(zhuǎn)化為化學(xué)能,從而將微細(xì)圖形從掩模版轉(zhuǎn)移到待處理的基板。

按顯影效果不同,光刻膠可分為正光刻膠和負(fù)光刻膠;按化學(xué)結(jié)構(gòu)不同可分為光聚合型、光分解型和光交聯(lián)型;按下游應(yīng)用可分為半導(dǎo)體光刻膠、面板光刻膠、PCB光刻膠。具體如圖所示:

資料來(lái)源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理

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