中商情報網(wǎng)訊：我國在全球半導體中的產(chǎn)能份額持續(xù)增加，疊加終端需求復蘇、國內(nèi)晶圓廠成熟制程招標采購推進，這些將促使半導體設備行業(yè)繼續(xù)在國產(chǎn)替代的大背景下延續(xù)高景氣。
一、產(chǎn)業(yè)鏈
中國半導體設備產(chǎn)業(yè)鏈上游為零部件及系統(tǒng)，零部件包括軸承、傳感器、石英、邊緣環(huán)、反應腔噴淋頭、泵、陶瓷件、射頻發(fā)生器、機械臂等，核心子系統(tǒng)包括氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學系統(tǒng)、電源及氣體反應、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系統(tǒng)、集成系統(tǒng)；中游為各類半導體設備，主要包括光刻機、刻蝕設備、薄膜沉積設備、真空鍍膜設備、清洗設備、離子注入設備、涂膠顯影設備、CMP設備、熱處理設備等；下游應用于半導體制造。
圖片來源：中商產(chǎn)業(yè)研究院
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