2、芯碁微裝
芯碁微裝從事以微納直寫光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫光刻設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售以及相應(yīng)的維保服務(wù)。芯碁微裝在直寫光刻設(shè)備領(lǐng)域推出了多個(gè)產(chǎn)品系列,如MAS系列、RTR系列、NEX系列、FAST系列、DILINE系列等,不斷進(jìn)行性能升級(jí)與下游應(yīng)用的拓展。芯碁微裝在直寫光刻設(shè)備領(lǐng)域擁有關(guān)鍵核心技術(shù),其直寫光刻設(shè)備可應(yīng)用在IC、MEMS、生物芯片、分立功率器件、IC掩膜版制造、先進(jìn)封裝、顯示光刻等環(huán)節(jié)。
2023年芯碁微裝營(yíng)業(yè)收入達(dá)到8.29億元,同比增長(zhǎng)27.07%,歸母凈利潤(rùn)高達(dá)1.79億元,同比增長(zhǎng)31.28%。
數(shù)據(jù)來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
PCB設(shè)備領(lǐng)域,芯碁微裝在2023年實(shí)現(xiàn)5.9億元營(yíng)收,占比總營(yíng)收71.16%,逆勢(shì)增長(zhǎng)11.94%,毛利率為35.38%。泛半導(dǎo)體業(yè)務(wù)方面,芯碁微裝同樣表現(xiàn)出色,營(yíng)收達(dá)到1.88億元,占比總營(yíng)收的22.71%,同比大幅增長(zhǎng)96.91%,毛利率則為57.62%。
數(shù)據(jù)來源:中商產(chǎn)業(yè)研究院整理
3、華卓精科
華卓精科主營(yíng)業(yè)務(wù)為光刻機(jī)雙工件臺(tái)、超精密測(cè)控裝備整機(jī)以及關(guān)鍵部件等衍生產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)以及銷售和技術(shù)服務(wù)。公司在光刻機(jī)雙工件臺(tái)技術(shù)方面取得了重要突破,并成功研制出國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)雙工作臺(tái)系統(tǒng),打破了國(guó)外在這一領(lǐng)域的技術(shù)壟斷。
華卓精科的光刻機(jī)雙工件臺(tái)是其核心產(chǎn)品之一,具有高速運(yùn)動(dòng)、高精度定位和高穩(wěn)定性等特點(diǎn)。公司推出了DWS和DWSi兩種系列的雙工件臺(tái),分別適用于干式步進(jìn)式掃描光刻機(jī)和浸沒式光刻機(jī)。