中商情報(bào)網(wǎng)訊:?電子特氣?是特種氣體的一個(gè)重要分支,廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路(IC)、平面顯示器件(如LCD、LED、OLED)、太陽(yáng)能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的原材料。
一、產(chǎn)業(yè)鏈
中國(guó)電子特氣上游為原料及設(shè)備,原料包括空氣、工業(yè)廢氣、液氧、液氮等,設(shè)備包括氣體分離設(shè)備、壓力容器設(shè)備、氣體純化設(shè)備、氣體壓縮設(shè)備等;中游為不同類(lèi)別電子特氣,包括摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、發(fā)光二極管用氣、刻蝕用氣體、CVD用氣等;下游應(yīng)用于集成電路、顯示面板、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。
圖片來(lái)源:中商產(chǎn)業(yè)研究院