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2.1　2020-2022年全球電子特氣發(fā)展現(xiàn)狀
2.1.1　市場發(fā)展規(guī)模
2.1.2　市場份額分布
2.1.3　企業(yè)競爭格局
2.1.4　企業(yè)營收情況
2.1.5　產(chǎn)業(yè)鏈條布局
2.1.6　應(yīng)用領(lǐng)域分布
2.1.7　產(chǎn)品技術(shù)分析
2.2　2020-2022年美國電子特氣發(fā)展分析
2.2.1　市場相關(guān)政策
2.2.2　市場主體介紹
2.2.3　企業(yè)布局動態(tài)
2.2.4　市場發(fā)展困境
2.3　2020-2022年日本電子特氣發(fā)展分析
2.3.1　市場發(fā)展現(xiàn)狀
2.3.2　市場需求分析
2.3.3　市場主體介紹
2.3.4　企業(yè)營收情況
2.3.5　企業(yè)布局動態(tài)
2.3.6　出口管制施行
2.4　全球電子特氣企業(yè)發(fā)展路徑及經(jīng)驗借鑒
2.4.1　設(shè)備制造+氣體服務(wù)齊頭并進(jìn)
2.4.2　通過收購快速開拓國際市場
2.4.3　通過技術(shù)創(chuàng)新豐富產(chǎn)品結(jié)構(gòu)

3.1　經(jīng)濟環(huán)境
3.1.1　宏觀經(jīng)濟概況
3.1.2　工業(yè)運行情況
3.1.3　固定資產(chǎn)投資
3.1.4　宏觀經(jīng)濟展望
3.2　政策環(huán)境
3.2.1　行業(yè)主管部門
3.2.2　行業(yè)相關(guān)政策
3.2.3　行業(yè)支持政策
3.2.4　行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)匯總
3.2.5　細(xì)分品類標(biāo)準(zhǔn)
3.2.6　區(qū)域政策動態(tài)
3.3　行業(yè)環(huán)境
3.3.1　工業(yè)氣體基本概述
3.3.2　工業(yè)氣體發(fā)展特點
3.3.3　工業(yè)氣體市場規(guī)模
3.3.4　工業(yè)氣體區(qū)域競爭
3.3.5　工業(yè)氣體競爭梯隊
3.3.6　工業(yè)氣體企業(yè)份額
3.3.7　工業(yè)氣體產(chǎn)品布局
3.3.8　工業(yè)氣體發(fā)展趨勢

4.1　中國電子特氣行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈分析
4.1.1　產(chǎn)業(yè)鏈條分析
4.1.2　上游供應(yīng)情況
4.1.3　下游應(yīng)用結(jié)構(gòu)
4.1.4　產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)布局
4.2　2020-2022年中國電子特氣市場發(fā)展?fàn)顩r
4.2.1　行業(yè)發(fā)展歷程
4.2.2　市場發(fā)展地位
4.2.3　市場發(fā)展態(tài)勢
4.2.4　市場發(fā)展規(guī)模
4.2.5　市場供應(yīng)模式
4.2.6　波特五力模型
4.3　2020-2022年中國電子特氣企業(yè)競爭情況
4.3.1　企業(yè)競爭優(yōu)勢
4.3.2　企業(yè)競爭格局
4.3.3　主要企業(yè)介紹
4.3.4　企業(yè)產(chǎn)品布局
4.3.5　企業(yè)營收情況
4.3.6　市場地位對比
4.4　中國電子特氣行業(yè)技術(shù)發(fā)展?fàn)顩r分析
4.4.1　電子特氣行業(yè)技術(shù)發(fā)展需求
4.4.2　電子特氣行業(yè)技術(shù)發(fā)展意義
4.4.3　典型電子特氣企業(yè)研發(fā)成果
4.4.4　高純含氟電子氣體國產(chǎn)化成功
4.4.5　高純氮氣“卡脖子”技術(shù)取得突破
4.5　中國電子特氣行業(yè)發(fā)展問題及建議
4.5.1　行業(yè)起步較晚
4.5.2　行業(yè)競爭加劇
4.5.3　國際貿(mào)易摩擦
4.5.4　技術(shù)存在短板
4.5.5　行業(yè)發(fā)展建議

5.1　清洗、蝕刻工藝特氣
5.1.1　三氟化氮（NF3）
5.1.2　四氟化碳（CF4）
5.1.3　六氟化硫（SF6）
5.1.4　六氟乙烷（C2F6）
5.1.5　八氟丙烷（C3F8）
5.1.6　八氟環(huán)丁烷（C4F8）
5.2　氧化/沉積工藝特氣
5.2.1　六氟化鎢（WF6）
5.2.2　氧化亞氮（N2O）
5.2.3　氨氣（NH3）
5.2.4　硅烷（SiH4）
5.2.5　鍺烷（GeH4）
5.3　氧化/沉積、離子注入、外延工藝特氣
5.3.1　磷烷（PH3）
5.3.2　砷烷（AsH3）
5.3.3　乙硼烷（B2H6）
5.4　其他電子特氣
5.4.1　六氟丁二烯（C4F6）
5.4.2　羰基硫（COS）
5.4.3　三氟化硼（BF3）
5.4.4　硒化氫（SeH2）

6.1　半導(dǎo)體行業(yè)
6.1.1　半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展綜述
6.1.2　半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化
6.1.3　電子特氣制程介紹
6.1.4　電子特氣應(yīng)用情況
6.1.5　電子特氣應(yīng)用規(guī)模
6.1.6　電子特氣應(yīng)用需求
6.1.7　電子特氣應(yīng)用前景
6.2　LED行業(yè)
6.2.1　LED行業(yè)發(fā)展綜述
6.2.2　電子特氣應(yīng)用情況
6.2.3　電子特氣應(yīng)用前景
6.3　LCD行業(yè)
6.3.1　LCD行業(yè)發(fā)展綜述
6.3.2　電子特氣制程介紹
6.3.3　電子特氣應(yīng)用現(xiàn)狀
6.3.4　電子特氣具體應(yīng)用
6.3.5　電子特氣應(yīng)用前景
6.4　太陽能電池行業(yè)
6.4.1　太陽能電池發(fā)展概述
6.4.2　電子特氣制程介紹
6.4.3　電子特氣應(yīng)用情況
6.4.4　電子特氣應(yīng)用規(guī)模

7.1　美國空氣化工產(chǎn)品
7.1.1　企業(yè)發(fā)展概況
7.1.2　企業(yè)業(yè)務(wù)介紹
7.1.3　企業(yè)產(chǎn)品布局
7.1.4　企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新
7.1.5　2019年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.1.6　2020年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.1.7　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.2　林德集團
7.2.1　企業(yè)發(fā)展歷程
7.2.2　企業(yè)業(yè)務(wù)介紹
7.2.3　企業(yè)產(chǎn)品布局
7.2.4　企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新
7.2.5　2019年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.2.6　2020年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.2.7　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.3　法國液空集團
7.3.1　企業(yè)發(fā)展歷程
7.3.2　企業(yè)業(yè)務(wù)介紹
7.3.3　企業(yè)產(chǎn)品布局
7.3.4　工業(yè)網(wǎng)路組織
7.3.5　企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略
7.3.6　2019年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.3.7　2020年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.3.8　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.4　日本酸素公司
7.4.1　企業(yè)發(fā)展概況
7.4.2　企業(yè)功能擴展
7.4.3　企業(yè)基礎(chǔ)技術(shù)
7.4.4　企業(yè)銷售情況
7.4.5　2019年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.4.6　2020年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.4.7　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.5　日本昭和電工株式會社
7.5.1　企業(yè)發(fā)展概況
7.5.2　企業(yè)業(yè)務(wù)介紹
7.5.3　企業(yè)產(chǎn)品布局
7.5.4　企業(yè)項目動態(tài)
7.5.5　2019年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.5.6　2020年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.5.7　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析
7.6　其他企業(yè)
7.6.1　太陽日酸
7.6.2　關(guān)東電化
7.6.3　艾迪科

8.1　廣東華特氣體股份有限公司
8.1.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.1.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.1.3　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.1.4　特氣營收情況
8.1.5　企業(yè)業(yè)務(wù)模式
8.1.6　企業(yè)業(yè)務(wù)布局
8.1.7　企業(yè)技術(shù)發(fā)展
8.1.8　企業(yè)項目布局
8.2　蘇州金宏氣體股份有限公司
8.2.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.2.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.2.3　企業(yè)工藝介紹
8.2.4　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.2.5　特氣營收情況
8.2.6　企業(yè)產(chǎn)能規(guī)模
8.2.7　企業(yè)產(chǎn)品布局
8.2.8　企業(yè)技術(shù)發(fā)展
8.3　江蘇雅克科技股份有限公司
8.3.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.3.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.3.3　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.3.4　電子特氣營收
8.3.5　企業(yè)產(chǎn)品布局
8.3.6　細(xì)分產(chǎn)品介紹
8.3.7　企業(yè)項目動態(tài)
8.4　江蘇南大光電材料股份有限公司
8.4.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.4.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.4.3　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.4.4　特氣營收情況
8.4.5　特氣布局分析
8.4.6　企業(yè)產(chǎn)品布局
8.4.7　企業(yè)研發(fā)投入
8.5　昊華化工科技集團股份有限公司
8.5.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.5.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.5.3　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.5.4　特氣營收情況
8.5.5　企業(yè)產(chǎn)能規(guī)模
8.5.6　企業(yè)產(chǎn)品布局
8.5.7　企業(yè)研發(fā)投入
8.6　湖南凱美特氣體股份有限公司
8.6.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.6.2　企業(yè)發(fā)展歷程
8.6.3　企業(yè)競爭優(yōu)勢
8.6.4　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.6.5　氣體營收分布
8.6.6　產(chǎn)品銷售情況
8.6.7　特氣布局分析
8.6.8　企業(yè)產(chǎn)品布局
8.6.9　企業(yè)研發(fā)投入
8.6.10　企業(yè)項目動態(tài)
8.7　湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司
8.7.1　企業(yè)發(fā)展概況
8.7.2　企業(yè)經(jīng)營現(xiàn)狀
8.7.3　電子特氣營收
8.7.4　電子特氣供應(yīng)
8.7.5　企業(yè)研發(fā)投入
8.7.6　企業(yè)項目動態(tài)
8.8　其他企業(yè)
8.8.1　杭氧股份
8.8.2　巨化股份
8.8.3　正帆科技
8.8.4　派瑞特氣
8.8.5　博純材料
8.8.6　綠菱公司
8.8.7　硅烷科技
8.8.8　同輝氣體
8.8.9　太和氣體

9.1　2020-2022年中國電子特氣行業(yè)投融資狀況
9.1.1　行業(yè)投資現(xiàn)狀
9.1.2　企業(yè)融資動態(tài)
9.1.3　企業(yè)戰(zhàn)略合作
9.1.4　項目投資布局
9.1.5　行業(yè)投資機遇
9.2　中國電子特氣行業(yè)投資進(jìn)入壁壘
9.2.1　技術(shù)壁壘
9.2.2　客戶壁壘
9.2.3　服務(wù)壁壘
9.2.4　資金壁壘
9.2.5　資質(zhì)壁壘
9.3　中國電子特氣行業(yè)投資風(fēng)險及策略
9.3.1　行業(yè)投資風(fēng)險
9.3.2　行業(yè)投資策略
9.3.3　項目投資建議

10.1　雅克科技半導(dǎo)體用電子級四氟化碳生產(chǎn)線技改項目
10.1.1　項目基本情況
10.1.2　項目投資價值
10.1.3　項目投資優(yōu)勢
10.1.4　項目實施主體
10.1.5　項目建設(shè)周期
10.1.6　項目投資概算
10.1.7　項目經(jīng)濟效益
10.2　南大光電三氟化氮生產(chǎn)裝置項目
10.2.1　項目基本情況
10.2.2　項目投資內(nèi)容
10.2.3　項目投資價值
10.2.4　項目建設(shè)周期
10.2.5　項目投資概算
10.2.6　產(chǎn)能消化空間
10.2.7　項目經(jīng)濟效益
10.2.8　項目備案進(jìn)展
10.3　正帆科技?xì)怏w擴產(chǎn)項目
10.3.1　項目基本情況
10.3.2　項目投資可行性
10.3.3　項目建設(shè)主體
10.3.4　項目建設(shè)周期
10.3.5　項目投資概算
10.3.6　項目環(huán)保措施
10.4　金宏氣體集成電路用高純氣體項目
10.4.1　項目基本情況
10.4.2　項目投資背景
10.4.3　項目建設(shè)方案
10.4.4　主要設(shè)備配置
10.4.5　項目物料及能源供應(yīng)
10.4.6　項目環(huán)境影響及設(shè)施
10.4.7　項目組織方式和實施進(jìn)展
10.4.8　項目投資概算及財務(wù)評價

11.1　中國電子特氣行業(yè)未來發(fā)展趨勢
11.1.1　行業(yè)發(fā)展機遇
11.1.2　行業(yè)發(fā)展趨勢
11.1.3　國產(chǎn)替代趨勢
11.2　2022-2027年中國電子特氣行業(yè)預(yù)測分析
11.2.1　2022-2027年中國電子特氣行業(yè)影響因素分析
11.2.2　2022-2027年中國電子特氣市場規(guī)模預(yù)測

圖表　不同線寬下對應(yīng)特氣所含顆粒雜質(zhì)要求
圖表　三種分離方法比較
圖表　化學(xué)氣相沉積工藝中電子氣體的使用流程
圖表　光刻工藝中電子氣體的使用流程
圖表　刻蝕工藝中電子氣體的使用流程
圖表　刻蝕機中輝光放電原理
圖表　離子注入工藝流程
圖表　離子注入機之磁分析器結(jié)構(gòu)簡圖
圖表　離子注入機設(shè)備結(jié)構(gòu)簡圖
圖表　電子氣體純度要求
圖表　氣體純化工藝流程圖
圖表　氣體合成工藝流程圖（以高純氫為例）
圖表　空氣分離工藝流程圖資
圖表　氣體充裝工藝流程圖
圖表　氣體混配工藝流程圖
圖表　氣體檢驗工藝流程圖
圖表　氣瓶處理工藝流程圖
圖表　全球電子氣體市場規(guī)模
圖表　2020全球電子氣體細(xì)分市場格局
圖表　2019年全球電子特氣市場格局
圖表　全球電子特種氣體知名企業(yè)
圖表　2019年全球各公司特氣業(yè)務(wù)營收
圖表　海外電子氣體產(chǎn)業(yè)鏈
圖表　2019年全球電子特氣行業(yè)下游應(yīng)用結(jié)構(gòu)
圖表　海外電子特氣廠商產(chǎn)品技術(shù)情況
圖表　日本主要電子特氣需求量及增速
圖表　工業(yè)氣體龍頭的發(fā)展路徑
圖表　林德集團的收購事件
圖表　空氣化工的技術(shù)、產(chǎn)品和市場
圖表　2015-2019年國內(nèi)生產(chǎn)總值及其增長速度
圖表　2015-2019年三次產(chǎn)業(yè)增加值占國內(nèi)生產(chǎn)總值比重
圖表　2015-2019年萬元國內(nèi)生產(chǎn)總值能耗降低率
圖表　2016-2020年國內(nèi)生產(chǎn)總值及其增長速度
圖表　2016-2020年三次產(chǎn)業(yè)增加值占國內(nèi)生產(chǎn)總值比重
圖表　2021年GDP初步核算數(shù)據(jù)
圖表　2019年各月累計營業(yè)收入與利潤總額同比增速
圖表　2019年規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)主要財務(wù)指標(biāo)（分行業(yè)）
圖表　2016-2020年全部工業(yè)增加值及增長速度
圖表　2020年主要工業(yè)產(chǎn)品產(chǎn)量及其增長速度
圖表　2020-2021年規(guī)模以上工業(yè)增加值同比增長速度
圖表　2021年規(guī)模以上工業(yè)生產(chǎn)主要數(shù)據(jù)
圖表　2019年中國固定資產(chǎn)投資（不含農(nóng)戶）同比增速
圖表　2019年中國固定資產(chǎn)投資（不含農(nóng)戶）主要數(shù)據(jù)
圖表　2020年三次產(chǎn)業(yè)投資占固定資產(chǎn)投資（不含農(nóng)戶）比重
圖表　2020年分行業(yè)固定資產(chǎn)投資（不含農(nóng)戶）增長速度
圖表　2020-2021年我國固定資產(chǎn)投資（不含農(nóng)戶）同比增速